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靶面金属化合物的形成。

由金属靶面通过反应溅射工艺形成化合物的过程中，化合物是在哪里形成的呢？由于活性反应气体粒子与靶面原子相碰撞产生化学反应生成化合物原子，通常是放热反应，反应生成热必须有传导出去的途径，否则，上海真空镀膜，该化学反应无法继续进行。在真空条件下气体之间不可能进行热传导，上海真空镀膜电话，所以，化学反应必须在一个固体表面进行。反应溅射生成物在靶表面、基片表面、和其他结构表面进行。

反应溅射工艺进行过程中靶表面溅射沟道区域内出现被反应生成物覆盖或反应生成物被剥离而重新暴露金属表面此消彼长的过程。如果化合物的生成速率大于化合物被剥离的速率，化合物覆盖面积增加。在一定功率的情况下，参与化合物生成的反应气体量增加，化合物生成率增加。如果反应气体量增加过度，化合物覆盖面积增加，如果不能及时调整反应气体流量，化合物覆盖面积增加的速率得不到抑制，溅射沟道将进一步被化合物覆盖，当溅射靶被化合物全部覆盖的时候。

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可持续发展的电镀产业模式，是综合了电镀生产资源的节约和环境保护、效率进步等多种因素的电镀生产模式。今后的真空电镀加工单位的设置和设计，都要采用这种模式，是比流行的“三同时”要求更进一步的电镀生产模式。这种综合处理废水的新的综合利用模式，在电能充分的前提下是完全可能的。